热电偶真空馈通Feedthrough是一种常用的真空度测量装置，在真空系统中起着重要的作用。其主要功能是测量真空系统中的气体压力，也就是真空度。以下是热电偶真空馈通在真空系统中的作用：

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真空度测量：热电偶真空馈通是一种常见的真空度测量装置。它利用热电偶的原理来测量气体的热导率，从而得到真空系统中的气体压力。通过测量气体的热导率，可以计算出真空系统中的气体压力，从而获得真空度的信息。

真空过程监控：在真空系统中，热电偶真空馈通可以实时监测气体压力的变化。这对于监控真空过程的稳定性和性能非常重要。通过实时监测气体压力，可以及时发现真空泄漏或其他问题，从而保障真空系统的正常运行。

控制和调节：根据热电偶真空馈通的测量结果，可以通过反馈控制来调节真空系统的泵速或阀门开度，以实现对真空度的控制。这在一些需要准确控制真空度的实验和工艺中尤为重要。

保护：热电偶真空馈通可以作为真空系统的保护装置。在真空度出现异常情况时，可以触发警报或自动停止真空泵等操作，以保障实验设备和操作人员的安全。

热偶型真空馈通（R/S/T）

以上就是新宝5注册登录测速中心提供的热电偶真空馈通Feedthrough在真空系统中作用的介绍。